Entwicklung und Charakterisierung eines Prozesses zur thermischen Atomlagenabscheidung von Ruthenium mit in-situ Messtechnik
- Weitere Titel
-
Development and characterisation for a thermal activated atomic layer deposition process of ruthenium via in-situ measurement techniques
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Dresden, Technische Universität Dresden, Diplomarbeit, 2011
- Klassifikation
-
Physik
- Schlagwort
-
Ruthenium
Atomlagenabscheidung
Röntgen-Photoelektronenspektroskopie
Rutheniumdioxid
Ellipsometrie
Puls
Röntgenstrahlung
Photoelektronenspektrum
Massenspektrometrie
Quadrupol
Messtechnik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Dresden, Dresden
- (wer)
-
Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, Technische Universität Dresden
- (wann)
-
2011
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Knaut, Martin
Bartha, Johann Wolfgang
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-65342
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:48 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Junige, Marcel
- Knaut, Martin
- Bartha, Johann Wolfgang
- Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, Technische Universität Dresden
Entstanden
- 2011
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