Hochschulschrift

Entwicklung und Aufbau einer neuartigen MOCVD-Anlage zum Wachstum ferroelektrischer Dünnschichten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
133 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2002

Erschienen in
Berichte des Forschungszentrums Jülich / Forschungszentrum Jülich ; 3956

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Jülich
(wer)
Forschungszentrum, Zentralbibliothek
(wann)
2002
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:19 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2002

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