Hochschulschrift
Neue Konzepte der Laserstrahlformung und -führung für die Mikrotechnik
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783831602056
3831602050
- Dimensions
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21 cm, 250 gr.
- Extent
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152 S.
- Language
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Deutsch
- Notes
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2002
- Keyword
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Excimerlaser
Maskentechnik
Strahlführung
Laserbohren
Mikrosystemtechnik
Strahlführung
Strahlqualität
Einspritzdüse
- Event
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Veröffentlichung
- (where)
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München
- (who)
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Utz, Wiss.
- (when)
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2003
- Creator
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Jasper, Knut
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:42 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Jasper, Knut
- Utz, Wiss.
Time of origin
- 2003