Hochschulschrift

Neue Konzepte der Laserstrahlformung und -führung für die Mikrotechnik

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783831602056
3831602050
Dimensions
21 cm, 250 gr.
Extent
152 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2002

Keyword
Excimerlaser
Maskentechnik
Strahlführung
Laserbohren
Mikrosystemtechnik
Strahlführung
Strahlqualität
Einspritzdüse

Event
Veröffentlichung
(where)
München
(who)
Utz, Wiss.
(when)
2003
Creator
Jasper, Knut

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Last update
11.06.2025, 1:42 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Jasper, Knut
  • Utz, Wiss.

Time of origin

  • 2003

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