A Heterodyne Interferometer with Separated Beam Paths for High-Precision Displacement and Angular Measurements
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISSN
-
2520-8128
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Notes
-
online resource.
- Bibliographic citation
-
A Heterodyne Interferometer with Separated Beam Paths for High-Precision Displacement and Angular Measurements ; day:23 ; month:4 ; year:2021 ; pages:1-8
Nanomanufacturing and metrology ; (23.4.2021), 1-8
- Creator
- Contributor
-
SpringerLink (Online service)
- DOI
-
10.1007/s41871-021-00101-x
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2021061018461089902497
- Rights
-
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:55 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Straube, Guido
- Fischer Calderón, Juan Sebastian
- Ortlepp, Ingo
- Füßl, Roland
- Manske, Eberhard
- SpringerLink (Online service)
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