Hochschulschrift
Untersuchung der UV-Nanoimprint-Lithografie als Strukturierungsverfahren für elektronische Bauelemente
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2008
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Ultraviolettlack ; Nanoprägen ; Transistor ; Nanolithographie
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:29-opus-11986
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:53 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
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