Hochschulschrift
Oberflächenmikromechanische Sensoren für Drehbeschleunigung und magnetische Feldstärke
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826597862
3826597869
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
XXVIII, 205 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2001
- Schlagwort
-
Drehbewegungssensor
Beschleunigungssensor
Mikromechanik
Oberflächenmontage
Silicium
Wafer
Drehbewegungssensor
Beschleunigungssensor
Magnetfeldsensor
Eigenfrequenz
Drehbewegungssensor
Beschleunigungssensor
Mikromechanik
Wafer
Glaslot
Vakuumtechnik
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:29 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Emmerich, Harald
- Shaker
Entstanden
- 2002
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