Hochschulschrift

Ein integrierter Druck-, Temperatursensor in Siliziumplanartechnik

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783181424094
3181424099
Maße
21 cm
Umfang
147 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss., 1991

Erschienen in
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 124, Reihe 9

Schlagwort
Multisensor
Siliciumsensor
Druckmessung
Temperaturmessung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
1991
Urheber
Zucker, Othmar

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:05 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Zucker, Othmar
  • VDI-Verl.

Entstanden

  • 1991

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