Influence of Cobalt and Cobalt–Manganese Oxide Coating Thickness Deposited by DLI-MOCVD as a Barrier Against Cr Diffusion for SOC Interconnect

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
1 Online-Ressource.
Sprache
Englisch

Erschienen in
Influence of Cobalt and Cobalt–Manganese Oxide Coating Thickness Deposited by DLI-MOCVD as a Barrier Against Cr Diffusion for SOC Interconnect ; volume:101 ; number:6 ; day:23 ; month:9 ; year:2024 ; pages:1467-1478 ; date:12.2024
High temperature corrosion of materials ; 101, Heft 6 (23.9.2024), 1467-1478, 12.2024

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik

Urheber
Chanson, R.
Bouvier, M.
Miserque, F.
Rouillard, F.
Schuster, F.
Beteiligte Personen und Organisationen
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1007/s11085-024-10316-0
URN
urn:nbn:de:101:1-2501222111227.695783421038
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:32 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Chanson, R.
  • Bouvier, M.
  • Miserque, F.
  • Rouillard, F.
  • Schuster, F.
  • SpringerLink (Online service)

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