Wechselwirkung zwischen Herstellungsparametern und Schichteigenschaften ausgewählter metallischer und keramischer Systeme bei der Magnetron-Kathodenzerstäubung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183534050
3183534053
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
VIII, 109 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Literaturverz. S. 105 - 109
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 5 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 534, Reihe 5
- Keyword
-
Metallischer Werkstoff
Magnetronsputtern
Prozessführung
Dünne Schicht
Stoffeigenschaft
Keramischer Werkstoff
Magnetronsputtern
Prozessführung
Dünne Schicht
Stoffeigenschaft
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:53 PM CEST
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- Leyens, Christoph
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1998
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