Wechselwirkung zwischen Herstellungsparametern und Schichteigenschaften ausgewählter metallischer und keramischer Systeme bei der Magnetron-Kathodenzerstäubung

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Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183534050
3183534053
Maße
21 cm
Umfang
VIII, 109 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Literaturverz. S. 105 - 109

Erschienen in
Fortschrittberichte VDI / 5 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 534, Reihe 5

Schlagwort
Metallischer Werkstoff
Magnetronsputtern
Prozessführung
Dünne Schicht
Stoffeigenschaft
Keramischer Werkstoff
Magnetronsputtern
Prozessführung
Dünne Schicht
Stoffeigenschaft

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
1998
Urheber

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:53 MESZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 1998

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