- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2013
- Schlagwort
-
Sputtern
Plasmaabscheidung
Magnetronsputtern
Aluminiumoxide
Aluminiumoxide
Magnetron
Phasenumwandlung
Plasmaphysik
Verdampfung
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Bochum
- (wer)
-
Ruhr-Universität Bochum
- (wann)
-
2013
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Keudell, Achim von
De los Arcos, Teresa
Fakultät für Physik und Astronomie
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:294-38471
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:31 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Prenzel, Marina
- Keudell, Achim von
- De los Arcos, Teresa
- Fakultät für Physik und Astronomie
- Ruhr-Universität Bochum
Entstanden
- 2013
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