Monografie

Exploring Electron Beam Induced Surface Activation for the Fabrication of well-defined Nanostructures: On the Role of Catalytic Processes, Substrates and Precursors.

Sprache
Englisch
Anmerkungen
Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Diss., 2014
Identifier
107547910X

Thema
Elektronenstrahl; Elektronenstrahllithographie; Nanolithographie; Nanotechnologie; Metallcarbonyle; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen
Vollnhals, Florian
Marbach, Hubertus

URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:57 MEZ

Objekttyp


  • Monografie

Beteiligte


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