Monografie

Exploring Electron Beam Induced Surface Activation for the Fabrication of well-defined Nanostructures: On the Role of Catalytic Processes, Substrates and Precursors.

Language
Englisch
Notes
Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Diss., 2014
Identifier
107547910X

Subject
Elektronenstrahl; Elektronenstrahllithographie; Nanolithographie; Nanotechnologie; Metallcarbonyle; Hochschulschrift

Contributor
Vollnhals, Florian
Marbach, Hubertus

URN
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
26.01.2023, 1:57 PM CET

Object type

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