High Q nanomechanical resonators fabricated from crystalline silicon carbide
- Weitere Titel
-
Nanomechanische Saitenresonatoren mit hoher Güte aus hochverspanntem Siliciumcarbid
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
München, Technische Universität München, Dissertation, 2022
- Schlagwort
-
Siliciumcarbid
MEMS
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
München
- (wer)
-
Universitätsbibliothek der TU München
- (wann)
-
2022
- Urheber
-
Klaß, Yannick Sebastian
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Weig, Eva
Weig, Eva
Scheer, Elke
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:91-diss-20220912-1661330-1-2
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:44 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Klaß, Yannick Sebastian
- Weig, Eva
- Scheer, Elke
- Universitätsbibliothek der TU München
Entstanden
- 2022
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