Festigkeit und Lebensdauer direkt gebondeter Siliziumwafer unter mechanischer Belastung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183334094
3183334097
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
X, 125 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Literaturverz. S. 120 - 125
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 334, Reihe 9
- Keyword
-
Wafer
Silicium
Bonden
Rissausbreitung
Bruchzähigkeit
Lebensdauer
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:01 PM CEST
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- Bagdahn, Jörg
- VDI-Verl.
Time of origin
- 2001
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