Festigkeit und Lebensdauer direkt gebondeter Siliziumwafer unter mechanischer Belastung
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183334094
3183334097
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
X, 125 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Literaturverz. S. 120 - 125
- Erschienen in
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 334, Reihe 9
- Schlagwort
-
Wafer
Silicium
Bonden
Rissausbreitung
Bruchzähigkeit
Lebensdauer
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:10 MEZ
Datenpartner
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Beteiligte
- Bagdahn, Jörg
- VDI-Verl.
Entstanden
- 2001
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