Monografie

Rare earth implanted MOS devices for silicon photonics

Sprache
Englisch
Umfang
XIV, 191 S.
Anmerkungen
Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Habil.-Schr., 2013
Identifier
1052205771

Thema
MOS ; Seltenerdmetall ; Siliciumdioxid ; Ionenimplantation ; Elektrolumineszenz ; Photonik ; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
15.04.2024, 08:54 MESZ

Objekttyp

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