Hochschulschrift
Monolithische Strukturen in Langasit für mikroelektromechanische Systemkomponenten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783942216685
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Zugl.: Clausthal-Zellerfeld, Techn. Univ., Diss., 2011
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
MEMS
Miniaturisierung
Sensor
Langasit
Piezoelektrizität
Hochtemperatur
Temperaturbeständigkeit
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Clausthal-Zellerfeld
- (wer)
-
Universitätsbibliothek Clausthal
- (wann)
-
2011
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:104-1105521
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:24 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Sauerwald, Jan
- Universitätsbibliothek Clausthal
Entstanden
- 2011
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