Hochschulschrift

Monolithische Strukturen in Langasit für mikroelektromechanische Systemkomponenten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783942216685
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Zugl.: Clausthal-Zellerfeld, Techn. Univ., Diss., 2011

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
MEMS
Miniaturisierung
Sensor
Langasit
Piezoelektrizität
Hochtemperatur
Temperaturbeständigkeit

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Clausthal-Zellerfeld
(wer)
Universitätsbibliothek Clausthal
(wann)
2011
Urheber

URN
urn:nbn:de:gbv:104-1105521
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:42 MEZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2011

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