Monografie
Simulation und Modellierung von CCRF-Entladungen in molekularen Gasen
- Sprache
-
Deutsch
- Identifier
-
1252071426
Thema
Entladung; Gas; Plasma; Randschicht; Simulation; PECVD-Verfahren; Hochfrequenzplasma; Wasserstoff; Silan
Beteiligte Personen und Organisationen
Mohr, Sebastian
Czarnetzki, Uwe
Brinkmann, Ralf Peter
Fakultät für Physik und Astronomie
Czarnetzki, Uwe
Brinkmann, Ralf Peter
Fakultät für Physik und Astronomie
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:54 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Mohr, Sebastian
- Czarnetzki, Uwe
- Brinkmann, Ralf Peter
- Fakultät für Physik und Astronomie
Ähnliche Objekte (12)
Untersuchungen zur Hochrateabscheidung harter DLC-Schichten
Plasmadichtebestimmung mittels Dual-Frequency-Multichannel-Boxcar-THz-Time-Domain-Spektroskopie
Untersuchung zur Wirkung von kaltem Atmosphärendruckplasma über die Oxidation von Thiolgruppen
Biokompatibilität und antimikrobielle Wirkung von kaltem atmosphärischem Plasma
Prozessentwicklung zur Herstellung von Zinnoxid- und Zirkoniumoxidschichten in der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung
Diagnostik an einer gepulsten RF-Entladung zur Erzeugung dünner a:C-H Schichten
Study the effect of high temperature firing process on passivation mechanism of hydrogenated amorphous SiNx:H layers with focus on hydrogen effusion measurements
Technische Hochfrequenzplasmen und ihre Wechselwirkung mit externen elektrischen Netzwerken
Nonlinear laserspectroscopic electric field measurements in micro-plasmas
Plasma dynamics in the micro thin-cathode discharge
Build-up of atomic oxygen densities in the discharge core of a micro-scaled atmospheric pressure plasma jet
Herstellung und elektronische Eigenschaften hydrogenierter amorpher Siliziumfilme, abgeschieden unter extremen Depositionsbedingungen
Untersuchungen zur Hochrateabscheidung harter DLC-Schichten
Plasmadichtebestimmung mittels Dual-Frequency-Multichannel-Boxcar-THz-Time-Domain-Spektroskopie
Untersuchung zur Wirkung von kaltem Atmosphärendruckplasma über die Oxidation von Thiolgruppen
Biokompatibilität und antimikrobielle Wirkung von kaltem atmosphärischem Plasma
Prozessentwicklung zur Herstellung von Zinnoxid- und Zirkoniumoxidschichten in der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung
Diagnostik an einer gepulsten RF-Entladung zur Erzeugung dünner a:C-H Schichten
Study the effect of high temperature firing process on passivation mechanism of hydrogenated amorphous SiNx:H layers with focus on hydrogen effusion measurements
Technische Hochfrequenzplasmen und ihre Wechselwirkung mit externen elektrischen Netzwerken
Nonlinear laserspectroscopic electric field measurements in micro-plasmas
Plasma dynamics in the micro thin-cathode discharge
Build-up of atomic oxygen densities in the discharge core of a micro-scaled atmospheric pressure plasma jet
Herstellung und elektronische Eigenschaften hydrogenierter amorpher Siliziumfilme, abgeschieden unter extremen Depositionsbedingungen
Untersuchungen zur Hochrateabscheidung harter DLC-Schichten
Plasmadichtebestimmung mittels Dual-Frequency-Multichannel-Boxcar-THz-Time-Domain-Spektroskopie
Untersuchung zur Wirkung von kaltem Atmosphärendruckplasma über die Oxidation von Thiolgruppen
Biokompatibilität und antimikrobielle Wirkung von kaltem atmosphärischem Plasma
Prozessentwicklung zur Herstellung von Zinnoxid- und Zirkoniumoxidschichten in der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung
Diagnostik an einer gepulsten RF-Entladung zur Erzeugung dünner a:C-H Schichten
Study the effect of high temperature firing process on passivation mechanism of hydrogenated amorphous SiNx:H layers with focus on hydrogen effusion measurements
Technische Hochfrequenzplasmen und ihre Wechselwirkung mit externen elektrischen Netzwerken
Nonlinear laserspectroscopic electric field measurements in micro-plasmas
Plasma dynamics in the micro thin-cathode discharge
Build-up of atomic oxygen densities in the discharge core of a micro-scaled atmospheric pressure plasma jet