Hochschulschrift
EUV-Emission und Entladungsdynamik eines Zinnplasmas in einer laserinduzierten Hochstromentladung für die Lithografie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783844027815
- Dimensions
-
21 cm, 242 g
- Extent
-
VIII, 148 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2014
- Keyword
-
Zinn
Lasererzeugtes Plasma
Strahler
Extremes Ultraviolett
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:28 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Küpper, Felix Alexander
- Shaker
Time of origin
- 2014
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