A Coaxial Nozzle Attachment Improving the Homogeneity of the Gas Flow Sputtering

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: Coatings (14:3) - Basel : MDPI - Art.-Id. 279

Event
Veröffentlichung
(where)
Berlin
(who)
Technische Universität Berlin
(when)
2024
Creator
Alktash, Nivin
Körner, Stefan
Liu, Tianhao
Pflug, Andreas
Szyszka, Bernd
Muydinov, Ruslan

DOI
10.14279/depositonce-20234
Handle
11303/21434
URN
urn:nbn:de:101:1-2404240159051.532086420831
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 10:59 AM CEST

Data provider

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Associated

  • Alktash, Nivin
  • Körner, Stefan
  • Liu, Tianhao
  • Pflug, Andreas
  • Szyszka, Bernd
  • Muydinov, Ruslan
  • Technische Universität Berlin

Time of origin

  • 2024

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