- Alternative title
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Additive Fertigung auf Chipoberflächen
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Englisch
- Notes
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Cottbus, BTU Cottbus - Senftenberg, Dissertation, 2023
- Keyword
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Wafer
Silicium
Additive Fertigung
Mikrofluidik
MEMS
Rapid Prototyping
Microfluidics
Microelectromechanical systems
- Event
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Veröffentlichung
- (where)
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Cottbus
- (who)
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BTU Cottbus - Senftenberg
- (when)
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2023
- Creator
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Schweiger, Severin Franziskus Georg
- Contributor
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Schenk, Harald
Kupnik, Mario
- DOI
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10.26127/BTUOpen-6455
- URN
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urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-64555
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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25.03.2025, 1:42 PM CET
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Associated
- Schweiger, Severin Franziskus Georg
- Schenk, Harald
- Kupnik, Mario
- BTU Cottbus - Senftenberg
Time of origin
- 2023