Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Karlsruhe, Universität Karlsruhe, Dissertation, 1992

Erschienen in
KFK-5088

Klassifikation
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Schlagwort
Kleinstmotor
LIGA-Verfahren
Motor
Drehmoment
Opferschicht
Mikromechanik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Karlsruhe
(wer)
KIT-Bibliothek
(wann)
2018
Urheber

DOI
10.5445/IR/49792
URN
urn:nbn:de:101:1-2019101511132602988926
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:43 MEZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2018

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