Hochschulschrift

Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Karlsruhe, Universität Karlsruhe, Dissertation, 1992

Erschienen in
KFK-5088

Schlagwort
Kleinstmotor
LIGA-Verfahren
Motor
Drehmoment
Opferschicht
Mikromechanik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Karlsruhe
(wer)
KIT-Bibliothek
(wann)
2018
Urheber

DOI
10.5445/IR/49792
URN
urn:nbn:de:101:1-2019101511132602988926
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:38 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2018

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