Hochschulschrift

Electrostatically actuated all-polymer microbeam resonators : characterization and application

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783899599213
Maße
24 cm
Umfang
XVII, 227 S.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Zürich, Techn. Hochsch., Diss., 2009

Erschienen in
Scientific reports on micro and nanosystems ; Vol. 6

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
MEMS
Resonator
Kantilever
Negativresist
Biosensor

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Tönning, Lübeck, Marburg
(wer)
Der Andere Verl.
(wann)
2009
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:40 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2009

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