Hochschulschrift
In-vacuo-Untersuchungen zum initialen Aufwachsverhalten bei der Atomlagenabscheidung mittels Photoelektronenspektroskopie und Rastersondentechniken am Beispiel Ruthenium
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783959081474
3959081472
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
vi, 159 Seiten
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Illustrationen
Technische Universität Dresden, Dissertation, 2017
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Ruthenium
Schichtwachstum
Atomlagenabscheidung
Photoelektronenspektroskopie
Rastersondenmikroskopie
Ausgangsmaterial
Sauerstoffmolekül
Dünnschichttechnik
Nanometerbereich
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:46 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Geidel, Marion
- TUDpress
Time of origin
- 2018
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