Hochschulschrift
Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783540635635
3540635637
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
123 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1997
- Bibliographic citation
-
IPA-IAO-Forschung und Praxis / Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung ; Bd. 255
- Keyword
-
Wafer
Flexible Fertigung
Losgröße
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Berlin, Heidelberg, New York, Barcelona, Budapest, Hongkong, London, Mailand, Paris, Santa Clara, Singapur, Tokio
- (who)
-
Springer
- (when)
-
1997
- Creator
-
Herzog, Olaf
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:46 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Herzog, Olaf
- Springer
Time of origin
- 1997
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