Hochschulschrift

Line edge roughness in optical critical dimension metrology

Language
Englisch
Extent
xxix, 121 Seiten
Dimensions
21 cm
Notes
Illustrationen
Universität Stuttgart, Dissertation, 2015
ISBN
9783923560806
Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main

Bibliographic citation
Berichte aus dem Institut für Technische Optik / Universität Stuttgart ; Nr. 81

Creator
Event
Veröffentlichung
(where)
Stuttgart
(who)
Institut für Technische Optik der Universität Stuttgart
(when)
2016

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Last update
11.03.2025, 12:28 PM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Bilski, Bartosz
  • Institut für Technische Optik der Universität Stuttgart

Time of origin

  • 2016

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