- Language
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Deutsch
- Notes
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Zugl.: Karlsruhe, Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Diss., 2013
- ISBN
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978-3-7315-0121-3
- Identifier
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1051363748
- Series
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Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik; 20
- DOI
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10.5445/KSP/1000036861
- URN
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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26.01.2023, 1:55 PM CET
Data provider
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Object type
- Monografie