Hochschulschrift
Untersuchungen zur Feuchtigkeitsaufnahme von Niedrig-Epsilon-Materialien für die Anwendung als Zwischenebenendielektrika in Mikrochips
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783863869687
- Dimensions
-
21 cm, 246 g
- Extent
-
133 S.
- Edition
-
1. Aufl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Hergestellt on demand
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2013
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Chip
VLSI
Leiterbahn
Low-k-Dielektrikum
Wasseraufnahme
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:22 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Kubasch, Christoph
- Pro Business
Time of origin
- 2013
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