Tip- and laser-based 3D nanofabrication in extended macroscopic working areas

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource, 17 Seiten
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Nanomanufacturing and metrology(4), H. 3, S.132-148 - ISSN 2520-8128
In: Springer Singapore, [Singapore]

Klassifikation
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ilmenau
(wer)
TU Ilmenau
(wann)
2021

DOI
10.1007/s41871-021-00110-w
URN
urn:nbn:de:101:1-2022070403074619420195
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:48 MEZ

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Entstanden

  • 2021

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