Digital mirror devices and liquid crystal displays in maskless lithography for fabrication of polymer-based holographic structures

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Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Rahlves, M.; Kelb, C.; Rezem, M.; Schlangen, S.; Boroz, K. et al.: Digital mirror devices and liquid crystal displays in maskless lithography for fabrication of polymer-based holographic structures. In: Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS 14 (2015), Nr. 4, 15051SSP. DOI: https://doi.org/10.1117/1.JMM.14.4.041302

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Hannover, Hannover
(wer)
Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Technische Informationsbibliothek (TIB)
(wann)
2015

DOI
10.15488/1754
URN
urn:nbn:de:101:1-2020060412552409223680
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:54 MEZ

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Beteiligte

  • Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Technische Informationsbibliothek (TIB)

Entstanden

  • 2015

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