Hochschulschrift

Titannitrid- und Titan-Schichten für die Nano-Elektromechanik

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
Stuttgart, Univ., Diss., 2007

Classification
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Keyword
Titannitrid ; Titan ; Magnetronsputtern ; Mikromechanik ; Mikrosystemtechnik ; Eigenspannung

Creator

URN
urn:nbn:de:bsz:93-opus-30574
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 11:00 AM CEST

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