Monografie
Kontaktlose Mikroschalter auf der Basis von Dünnschichten aus Aluminiumnitrid und nanokristallinem Diamant
- Sprache
-
Deutsch
- Umfang
-
144 Seiten
- ISBN
-
978-3-8396-1053-4
- Identifier
-
111992104X
- Reihe
-
Science for systems; Band 26
Thema
Kontaktloser Schalter ; MEMS ; Dünne Schicht ; Aluminiumnitrid ; Diamant ; Nanostrukturiertes Material ; Piezoelektrischer Aktor ; Resonator ; Abstimmung ; Feldemission ; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.04.2024, 08:44 MESZ
Objekttyp
- Monografie
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