Hochschulschrift
Kontaktlose Mikroschalter auf der Basis von Dünnschichten aus Aluminiumnitrid und nanokristallinem Diamant
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783839610534
3839610532
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
144 Seiten
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Illustrationen
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg im Breisgau, Dissertation, 2015
- Bibliographic citation
-
Science for systems ; Band 26
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Kontaktloser Schalter
MEMS
Dünne Schicht
Aluminiumnitrid
Diamant
Nanostrukturiertes Material
Piezoelektrischer Aktor
Resonator
Abstimmung
Feldemission
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Stuttgart
- (who)
-
Fraunhofer Verlag
- (when)
-
[2016]
- Creator
- Contributor
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:01 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Lang, Nicola
- Ambacher, Oliver
- Fraunhofer IAF, Freiburg
- Fraunhofer IRB-Verlag
- Fraunhofer Verlag
Time of origin
- [2016]
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