Hochschulschrift
Synthesis of compliant single crystal silicon mechanisms with large deformation
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783899598988
- Dimensions
-
24 cm
- Extent
-
124 S.
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2009
- Bibliographic citation
-
Microactuators - design and technology ; Vol. 3
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Kippspiegel
Mikrooptik
MEMS
Mikroaktor
Silicium
Einkristall
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Tönning, Lübeck, Marburg
- (who)
-
Der Andere Verl.
- (when)
-
2009
- Creator
-
Chen, Tzung-Ming
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:44 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Chen, Tzung-Ming
- Der Andere Verl.
Time of origin
- 2009
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