Hochschulschrift
Synthesis of compliant single crystal silicon mechanisms with large deformation
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783899598988
- Maße
-
24 cm
- Umfang
-
124 S.
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2009
- Erschienen in
-
Microactuators - design and technology ; Vol. 3
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Kippspiegel
Mikrooptik
MEMS
Mikroaktor
Silicium
Einkristall
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Tönning, Lübeck, Marburg
- (wer)
-
Der Andere Verl.
- (wann)
-
2009
- Urheber
-
Chen, Tzung-Ming
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:44 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Chen, Tzung-Ming
- Der Andere Verl.
Entstanden
- 2009
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