Hochschulschrift | Online-Publikation
Entwicklung einer Planarisierungstechnologie einschließlich chemisch mechanischen Polierens zur Fertigung hochauflösender Flächenlichtmodulatoren
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Duisburg, Univ., Diss., 2000
- Keyword
-
Matrixanzeige
Lichtmodulator
CMOS
Planartechnik
Chemisches Polieren
Matrixanzeige
Lichtmodulator
Wafer
CMOS
Planartechnik
Chemisches Polieren
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:464-duett-05222001-0931400
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:44 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
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