Hochschulschrift | Online-Publikation
Entwicklung einer Planarisierungstechnologie einschließlich chemisch mechanischen Polierens zur Fertigung hochauflösender Flächenlichtmodulatoren
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Language
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Deutsch
- Notes
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Duisburg, Univ., Diss., 2000
- Keyword
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Matrixanzeige
Lichtmodulator
CMOS
Planartechnik
Chemisches Polieren
Matrixanzeige
Lichtmodulator
Wafer
CMOS
Planartechnik
Chemisches Polieren
- Creator
- URN
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urn:nbn:de:hbz:464-duett-05222001-0931400
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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15.08.2025, 7:29 AM CEST
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation