In‐Volume Laser Direct Writing of Silicon—Challenges and Opportunities

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In‐Volume Laser Direct Writing of Silicon—Challenges and Opportunities ; day:26 ; month:09 ; year:2021 ; extent:35
Laser & photonics reviews ; (26.09.2021) (gesamt 35)

Creator
Chambonneau, Maxime
Grojo, David
Tokel, Onur
Ilday, Fatih Ömer
Tzortzakis, Stelios
Nolte, Stefan

DOI
10.1002/lpor.202100140
URN
urn:nbn:de:101:1-2021092715004930333953
Rights
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
15.08.2025, 7:27 AM CEST

Data provider

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