Hochschulschrift

Analytische, numerische und experimentelle Untersuchungen zum chemisch-mechanischen Polieren von Siliziumwafern

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783860124116
Dimensions
21 cm, 250 g
Extent
III, 174 S.
Edition
1. Aufl.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Freiberg (Sachsen), Bergakad., Diss., 2013

Bibliographic citation
Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik / Institut für Mechanik und Fluiddynamik ; H. 12

Classification
Elektrotechnik, Elektronik

Event
Veröffentlichung
(where)
Freiberg
(who)
Inst. für Mechanik und Fluiddynamik
(when)
2013
Creator

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Last update
11.06.2025, 2:16 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 2013

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