Hochschulschrift
Analytische, numerische und experimentelle Untersuchungen zum chemisch-mechanischen Polieren von Siliziumwafern
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783860124116
- Dimensions
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21 cm, 250 g
- Extent
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III, 174 S.
- Edition
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1. Aufl.
- Language
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Deutsch
- Notes
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Freiberg (Sachsen), Bergakad., Diss., 2013
- Bibliographic citation
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Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik / Institut für Mechanik und Fluiddynamik ; H. 12
- Classification
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Elektrotechnik, Elektronik
- Event
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Veröffentlichung
- (where)
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Freiberg
- (who)
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Inst. für Mechanik und Fluiddynamik
- (when)
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2013
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:16 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Ludwig, Christian
- Inst. für Mechanik und Fluiddynamik
Time of origin
- 2013