Hochschulschrift
Analytische, numerische und experimentelle Untersuchungen zum chemisch-mechanischen Polieren von Siliziumwafern
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783860124116
- Maße
-
21 cm, 250 g
- Umfang
-
III, 174 S.
- Ausgabe
-
1. Aufl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Freiberg (Sachsen), Bergakad., Diss., 2013
- Erschienen in
-
Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik / Institut für Mechanik und Fluiddynamik ; H. 12
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Freiberg
- (wer)
-
Inst. für Mechanik und Fluiddynamik
- (wann)
-
2013
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:16 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Ludwig, Christian
- Inst. für Mechanik und Fluiddynamik
Entstanden
- 2013
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