Etch mechanism of an Al₂O₃ hard mask in the Bosch process

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: Micro and Nano Engineering, 14, S.

Event
Veröffentlichung
(where)
Wildau
(who)
Technische Hochschule Wildau
(when)
2022
Creator
Drost, Martin
Marschmeyer, Steffen
Fraschke, Mirko
Fursenko, Oksana
Bärwolf, Florian
Costina, Ioan
Mahadevaiah, Mamathamba Kalishettyhalli
Lisker, Marco

URN
urn:nbn:de:kobv:526-opus4-15678
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
15.08.2025, 7:37 AM CEST

Data provider

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Associated

  • Drost, Martin
  • Marschmeyer, Steffen
  • Fraschke, Mirko
  • Fursenko, Oksana
  • Bärwolf, Florian
  • Costina, Ioan
  • Mahadevaiah, Mamathamba Kalishettyhalli
  • Lisker, Marco
  • Technische Hochschule Wildau

Time of origin

  • 2022

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