Hochschulschrift
Entwicklung eines allgemeinen dreidimensionalen physikalischen Modells zur Simulation von Abscheideprofilen in Kathodenzerstäubungsanlagen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183197217
3183197219
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
IX, 116 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Zugl.: Hannover, Univ., Diss.
- Erschienen in
-
Fortschritt-Berichte VDI / 21 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 197, Reihe 21
- Schlagwort
-
Aluminium
Magnetronsputtern
Diffusionsgleichung
Monte-Carlo-Simulation
Wolfram
Magnetronsputtern
Diffusionsgleichung
Monte-Carlo-Simulation
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:47 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Stache, Joachim
- VDI-Verl.
Entstanden
- 1996
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