Hochschulschrift

Structure and composition of silicon carbide films formed by ion implantation techniques

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783898730105
3898730107
Dimensions
21 cm
Extent
VIII, 201 S.
Edition
1. Aufl.
Language
Englisch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Marburg, Univ., Diss., 1999

Keyword
Siliciumcarbid
Ionenimplantation

Event
Veröffentlichung
(where)
Göttingen
(who)
Cuvillier
(when)
2001
Creator
Volz, Kerstin

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Last update
11.06.2025, 1:36 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Volz, Kerstin
  • Cuvillier

Time of origin

  • 2001

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