Hochschulschrift
Laser-Reflexionsmessungen zur Optimierung technologischer Prozesse bei der Herstellung integrierter Supraleiterschaltungen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183439089
3183439085
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VII, 192 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1994
- Erschienen in
-
Fortschritt-Berichte VDI / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 439, Reihe 08
- Schlagwort
-
Integrierte Schaltung
Supraleiter
Josephson-Kontakt
Dünnschichttechnik
Reflektometrie
Prozessüberwachung
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:36 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Dolata, Ralf
- VDI-Verl.
Entstanden
- 1994
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