Elektrostatische MEMS-Schritt-Aktoren mit großen und linearen Stellwegen für THz-Anwendungen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2023

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
Aktor
MEMS
Mikroaktor
Mikromechanik
Elektrostatik
Beschleunigungssensor
Terahertzbereich
Digital-Analog-Wandler
MEMS
Schlitzwellenleiter
Phasenschieber
Aktor

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Bochum
(wer)
Ruhr-Universität Bochum
(wann)
2023
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Hoffmann, Martin
Wallrabe, Ulrike
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

URN
urn:nbn:de:hbz:294-98589
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:42 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Schmitt, Lisa
  • Hoffmann, Martin
  • Wallrabe, Ulrike
  • Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
  • Ruhr-Universität Bochum

Entstanden

  • 2023

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