Elektrostatische MEMS-Schritt-Aktoren mit großen und linearen Stellwegen für THz-Anwendungen
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2023
- Klassifikation
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Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
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Aktor
MEMS
Mikroaktor
Mikromechanik
Elektrostatik
Beschleunigungssensor
Terahertzbereich
Digital-Analog-Wandler
MEMS
Schlitzwellenleiter
Phasenschieber
Aktor
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Bochum
- (wer)
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Ruhr-Universität Bochum
- (wann)
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2023
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
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Hoffmann, Martin
Wallrabe, Ulrike
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- URN
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urn:nbn:de:hbz:294-98589
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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25.03.2025, 13:42 MEZ
Datenpartner
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Beteiligte
- Schmitt, Lisa
- Hoffmann, Martin
- Wallrabe, Ulrike
- Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- Ruhr-Universität Bochum
Entstanden
- 2023