Monografie

Piezoelectric multilayer beam bending actuators : static and dynamic behaviour and aspects of sensor integration ; with 17 tables

Sprache
Englisch
Umfang
XIV, 358 S.
ISBN
978-3-540-32641-0
Identifier
979111749

Reihe
Microtechnology and MEMS

Thema
MEMS ; Piezoelektrischer Aktor ; Schichtverbundwerkstoff ; Stoffeigenschaft ; Biegefestigkeit ; Lichtstrahl

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Letzte Aktualisierung
16.08.2023, 18:37 MESZ

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