Hochschulschrift
Methoden zur Analyse parasitärer, elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen
- Alternative title
-
Elektrostatik-Analyse von mikroelektromechanischen Systemen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183473205
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
VIII, 152 Seiten
- Edition
-
Als Manuskript gedruckt
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Illustrationen
- Bibliographic citation
-
Fortschritt-Berichte VDI / 20 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 473, Reihe 20, Rechnerunterstützte Verfahren
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
MEMS
Kapazitiver Sensor
Beschleunigungssensor
Drehratensensor
Schaltungsentwurf
Elektrostatik
Parasitäres Element
Prozesssimulation
Ersatzschaltbild
Mustererkennung
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:58 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Hald, Axel
- VDI Verlag GmbH
Time of origin
- [2020]
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19. VDI-Getriebetagung Bewegungstechnik 2018 : Innovationen, Methoden, Konzepte & Applikationen : Karlsruhe, 19. und 20. September 2018
Auf dem Weg zu robusten Lösungen : Modelle und Methoden zur Beherrschung von Unsicherheit in den frühen Phasen der Produktentwicklung
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Diffuse Emissionen : Fachtagung Frankfurt, 11. und 12. Mai 2017
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