Hochschulschrift
Methoden zur Analyse parasitärer, elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen
- Weitere Titel
-
Elektrostatik-Analyse von mikroelektromechanischen Systemen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183473205
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VIII, 152 Seiten
- Ausgabe
-
Als Manuskript gedruckt
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Illustrationen
- Erschienen in
-
Fortschritt-Berichte VDI / 20 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 473, Reihe 20, Rechnerunterstützte Verfahren
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
MEMS
Kapazitiver Sensor
Beschleunigungssensor
Drehratensensor
Schaltungsentwurf
Elektrostatik
Parasitäres Element
Prozesssimulation
Ersatzschaltbild
Mustererkennung
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:58 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Hald, Axel
- VDI Verlag GmbH
Entstanden
- [2020]
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