Hochschulschrift

Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung piezoelektrischer Mikrospiegel

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783739239583
3739239581
Dimensions
21 cm, 296 g
Extent
XXII, 169 Seiten
Language
Deutsch
Notes
Illustrationen
Christian-Albrechts-Universität Kiel, Dissertation, 2016

Keyword
MEMS
Spiegelsystem
PZT
Piezoelektrischer Aktor
Positionsgeber

Event
Veröffentlichung
(where)
Norderstedt
(who)
BoD - Books on Demand
(when)
[2016]
Creator
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Last update
11.06.2025, 1:50 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • [2016]

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