Hochschulschrift

Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung piezoelektrischer Mikrospiegel

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783739239583
3739239581
Maße
21 cm, 296 g
Umfang
XXII, 169 Seiten
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Illustrationen
Christian-Albrechts-Universität Kiel, Dissertation, 2016

Schlagwort
MEMS
Spiegelsystem
PZT
Piezoelektrischer Aktor
Positionsgeber

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Norderstedt
(wer)
BoD - Books on Demand
(wann)
[2016]
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:50 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • [2016]

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