Hochschulschrift

Modellierung und Simulation nichtlinearer Effekte in kapazitiv gekoppelten Hochfrequenzplasmen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783832526207
Maße
21 cm
Umfang
VI, 134 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Zugl.: Bochum, Univ., Diss.

Schlagwort
Hochfrequenzplasma
Kaltes Plasma
Nichtlineare Dynamik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Berlin
(wer)
Logos-Verl.
(wann)
2010
Urheber

Inhaltsverzeichnis
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:32 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2010

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