Hochschulschrift
Modellierung und Simulation nichtlinearer Effekte in kapazitiv gekoppelten Hochfrequenzplasmen
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783832526207
- Maße
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21 cm
- Umfang
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VI, 134 S.
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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graph. Darst.
Zugl.: Bochum, Univ., Diss.
- Schlagwort
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Hochfrequenzplasma
Kaltes Plasma
Nichtlineare Dynamik
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:32 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Ziegler, Dennis
- Logos-Verl.
Entstanden
- 2010