- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2023
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Mikrosystemtechnik
MEMS
Mikrosystemtechnik
MEMS
Elektrostatik
Sensortechnik
Aktorik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Bochum
- (wer)
-
Ruhr-Universität Bochum
- (wann)
-
2023
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:294-107152
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:32 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Thewes, Anna Christina
- Hoffmann, Martin
- Witte, Hartmut
- Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- Ruhr-Universität Bochum
Entstanden
- 2023
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