Hochschulschrift
In situ Untersuchung der laserinduzierten Abscheidung von amorphem, wasserstoffhaltigem Silizium durch FTIR-Transmissionsspektroskopie
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
III, 125 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Heidelberg, Univ., Diss., 1997
- Schlagwort
-
Silicium
Amorpher Halbleiter
Wasserstoff
Schichtwachstum
FT-IR-Spektroskopie
In situ
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:22 MESZ
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Objekttyp
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Beteiligte
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