Phosphorus monolayer doping (MLD) of silicon on insulator (SOI) substrates

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
Phosphorus monolayer doping (MLD) of silicon on insulator (SOI) substrates ; volume:9 ; pages:2106-2113
Beilstein journal of nanotechnology ; 9, 2106-2113

Classification
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

DOI
10.3762/bjnano.9.199
URN
urn:nbn:de:101:1-2018091907440614083460
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
15.08.2025, 7:35 AM CEST

Data provider

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