Phosphorus monolayer doping (MLD) of silicon on insulator (SOI) substrates

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
Phosphorus monolayer doping (MLD) of silicon on insulator (SOI) substrates ; volume:9 ; pages:2106-2113
Beilstein journal of nanotechnology ; 9, 2106-2113

Klassifikation
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

DOI
10.3762/bjnano.9.199
URN
urn:nbn:de:101:1-2018091907440614083460
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:35 MESZ

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